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掃描電鏡等離子清洗機是怎么工作的?

更新時間:2024-12-05       點擊次數(shù):371

掃描電鏡等離子清洗機是一款專為掃描電子顯微鏡(SEM)樣品準備而設計的高效清洗設備。該機利用等離子體技術,通過活性氣體的激發(fā),去除樣品表面的有機污染物和微塵,確保樣品在顯微觀察中的清潔和高質量成像。

掃描電鏡等離子清洗機的工作原理主要基于等離子體的化學反應和物理作用。通過高頻電磁場激發(fā)工作氣體,使氣體分子電離并產(chǎn)生高能等離子體。這些等離子體在電場作用下獲得足夠的能量,與周圍的氣體分子發(fā)生碰撞,進一步產(chǎn)生更多的高能活性粒子。這些高能粒子與待處理材料表面進行碰撞,將表面附著的污染物撞擊并脫離表面,從而達到表面清潔的目的。同時,等離子體中的活性粒子與材料表面還可能發(fā)生化學反應,生成揮發(fā)性物質,將污染物轉化為易于去除的形式,進一步凈化表面。

本公司提供的CIF掃描電鏡等離子清洗機采用遠程等離子清洗源設計,清洗快速、高效、低轟擊損傷,掃描電鏡等離子清洗機主要用于SEM或FIB等腔體內碳氫化合物的清洗。 

 


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