勻膠旋涂儀的運行可以按基片旋轉(zhuǎn)速度及膠質(zhì)的變化，分為4個階段：滴膠，加速旋轉(zhuǎn)，勻速旋轉(zhuǎn)以及去邊，其中第3階段勻速旋轉(zhuǎn)階段是膠質(zhì)涂層厚度和均勻性控制的重要階段。在滴膠前，膠質(zhì)需經(jīng)過亞微米級別的過濾處理，否則薄膜有可能形成彗星圖，星狀圖，或產(chǎn)生氣泡。

　　滴膠階段是將膠質(zhì)溶劑沉積在基片上中心位置的過程?？梢允謩拥渭?，或用配備的自動滴膠器滴加。一般而言，自動滴膠方式由于是自動機械化操作，薄膜的厚度，均勻性，及可重復性都很好，并且也可以減少易揮發(fā)的毒性氣體與身體接觸。而手動滴膠是人工操作，適合要求不高的薄膜制備。

　　勻膠旋涂儀選購時需要注意的幾個細節(jié)：

　　1、旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能準確標定實時的轉(zhuǎn)速。進口的勻膠機雖然大部分能標定轉(zhuǎn)速，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有國際標準認定。

　　2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

　　真空泵一定要無油的，壓力標定準確，國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題，這一點許多國外的勻膠機做得不錯，他們有通過聯(lián)動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉(zhuǎn)。

　　3、材質(zhì)的選擇

　　對于半導體化工行業(yè)的應用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。