關(guān)于Spin Coater勻膠機(jī)的那些你不知道的事,值得學(xué)習(xí)!
更新時(shí)間:2021-01-04 點(diǎn)擊次數(shù):1473
Spin Coater勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡單,結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
CIF-Spin Coater勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
1、采用閉環(huán)控制伺服電機(jī),數(shù)字式增速信號(hào)反饋,速勻準(zhǔn)確,壽命長,保證勻膠均勻。
2、5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置),可選配10個(gè)可編程程序,每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段,多100個(gè)階段。
3、內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
4、多重安全保護(hù)
電磁安全開關(guān),蓋子打開卡盤停止,保證安全;
蓋子自鎖功能,防止飛片蓋子彈開傷人;
雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。
5、一機(jī)兩用,根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。
6、不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。
7、適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP等多種材料。